真空圧：それは何か、どうやって測定するのか？

真空という言葉はよく誤解されています。そのため、圧力測定について議論したり、圧力トランスデューサを選択する際に、誤って適用されることがよくあります。圧力とは、物体に力が加わることです。しかし、圧力は用途に応じてさまざまな方法で測定することができます。

真空圧

定義によれば、真空とは、人工的な手段（空気ポンプなど）によって部分的に（可能な限り）排気された空間のことです。この定義は、高真空または硬い真空を指しています。

図1：

ゲージ圧とは、大気圧（約14.7PSIA）を基準にした圧力のことです。これは、ポンド・パー・スクエア・インチ（ゲージ）またはPSIGと呼ばれています。

絶対圧とは、高真空（0 PSIA）に対して測定される圧力のことです。

絶対圧

絶対圧とは、高真空（0PSIA）からの相対的な圧力のことで、「ポンド・パー・スクエア・インチ（絶対）」または「PSIA」と呼ばれます。

真空は、0 PSIAから14.7 PSIAの間のあらゆる圧力を指すことがあり、そのためさらに定義する必要があります。

図2：

真空圧は、周囲の大気圧に対して測定されます。これは、ポンド・パー・スクエア・インチ（真空）またはPSIVと呼ばれています。

真空圧トランスデューサーの電気出力は、0PSIV（14.7PSIA）でDC0V、フルスケール真空の14.7（0PSIA）でフルスケール出力（通常DC5V）となります。絶対圧トランスデューサは、圧力の増加（真空度の減少）に比例して正の電圧出力が増加します。

例

真空トランスデューサ
Range: 0～14.7PSIV
出力: 0～5VDC

アブソリュート・トランスデューサ
範囲：0～14.7PSIA
出力：0～5VDC。 0～14.7PSIA
出力：0～5VDC。 DC 0～5 V

真空はしばしば負圧（またはソフトバキューム）とも呼ばれます。

Figure 3:

ここでいう差圧とは、基準となる圧力に対して測定された圧力のことです。これは、ポンド/平方インチ（差）またはPSIDと呼ばれています。基準圧力が1気圧の場合、差圧範囲はゲージ圧範囲と等しくなります。

例

双方向差圧トランスデューサ
Range: 0～±5 PSID
出力。 0～±2.4VDC

ソフトまたは低真空（通常5PSIA以上）の測定には双方向差圧トランスデューサが使用され、ハードまたは高真空（通常5PSIA未満）の測定には低絶対圧トランスデューサが使用されます。

図4はソフトおよびハードの真空を示しています。

図4を参照してください。

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詳細については、INDUSTRIAL PRESSURE SENSOR CATALOG

をご覧ください。